◆定位精度補償后可達4μm,重復定位精度最高可達±1μm;
◆速度最高可達 3.5m/s ;
◆用于激光切割設備、AOI檢測設備、激光直接成像(LDI)、異插、貼輔料、點膠等高精密設備;
◆可根據(jù)客戶要求定制。